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AlNは銅のDepostion放出させるシステム、窒化アルミニウムの銅の直接めっき機械を欠く

マグネトロンの放出させるコータ
2024-07-27
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AlN チップス コッパースプッティング 堆積システム アルミナイトライド PVD コッパースプッティング 機械 パフォーマンス 1極限真空圧:5.0×10以上-6トール 2動作真空圧: 1.0×10-4トール 3ポンプダウン時間: 1 atm から 1.0×10-4熱度≤3分 (室温,乾燥,清潔,空室) 4金属化材料 (スプッタリング+弧蒸発):Ni,Cu,Ag,Au,Ti,Zr,Crなど 5動... もっと眺め
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