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RTSP1200-DPC 銅/銀/金/グラファイト超薄膜成膜装置

マグネトロンの放出させるコータ
2022-12-19
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DC 純金属マグネトロン スパッタリング蒸着機、銅/銀/金/グラファイト超薄膜蒸着機 パフォーマンス 1.到達真空度:5.0×10以上-6トル。 2.使用真空圧力:1.0×10-4トル。 3.排気時間:1気圧から1.0×10-4Torr≤ 3 分 (室温、乾燥、クリーン、空のチャンバー) 4.メタライズ材料(スパッタリング+アーク蒸着):Ni、Cu、Ag、Au、Ti、Zr、Crなど 5. 操作モデ... もっと眺め
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