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| ブランド名: | ROYAL |
| モデル番号: | RTSP |
| MOQ: | 1 セット |
| 供給能力: | 毎月10セット |
タンタルPVDスプッティングコーティングマシン,DCマグネットロンスプッティングによって堆積されたタンタルフィルム,PVDタンタルプラチング
タントルは,侵食に強いため,電子産業で,多くの産業で保護用コーティングとして最も広く使用されています.
タンタルのフィルムは,
1フィルムが反応的に噴射され,抵抗の耐性と温度係数を制御できるので,マイクロ電子産業
2身体インプラントのような医療機器は 高い生物互換性があるため
3耐腐蝕部品,例えば熱孔,バルブ体,固定装置のコーティング
表面膜が連続で,欠陥があり,基板に粘着している場合も,効果的耐腐蝕障壁として使用できます..
RTAS1000 技術上の利点
1プラグイン 迅速なインストールのための統合設計システム
2シメンス PLC,CPU; 産業用PC操作と制御ハードウェア
3リモートモニタリングと診断に利用できます
4柔軟で,アップグレード可能
5急速な堆積速度のための複数のカソード
機械の利点:
堅牢な設計,安定した品質,高速サイクル,高速サイクル時間,高い堆積速度
| 主な構成 | |
| モデル | RTAS1000 |
| テクノロジー | DC マグネトロンスプッター + カソド弧塗装 |
| 部屋の材料 | ステンレス鋼 (S304) |
| 部屋の大きさ | Φ1000*1000mm (H) |
| 部屋のタイプ | D形,円筒状の部屋 |
| ローテーション・ラック&ジグシステム | 衛星運転または中央運転システム |
| 電力供給 | DCスプッティング電源: 2~4セットバイアス電源: 1セットアーチ電源: 11セット |
| 申告資料 | Ti/Cr/TiAl,Ta,Au,Ag,Cu など |
| 預金源 |
平面スプッティングカソード + 円弧カソード 注:円筒型直流噴射器が利用可能 |
| コントロール | PLC (プログラム可能な論理コントローラー) +タッチスクリーン (手動+自動+半自動操作モデル) |
| パンプシステム | ローータリーバーンポンプ: SV300B - 1セット (レイボルド) |
| 根ポンプ: WAU1001 - 1セット (レイボルド) | |
| 保持ポンプ:D60C - 1セット (レイボルド) | |
| 磁気懸垂分子ポンプ:MAG2200 - 2 sest (レイボルド) | |
| ガス質量流量制御装置 | 4チャンネル,中国製,7つ星 (CSシリーズ) デジタルモデル (Ar,N2,O2,C2H2) |
| バキューム・メージャー | モデル:ZDF-X-LE 中国製 |
| 安全システム | 操作員や装備者を守るための多くの安全鍵 |
| 暖房 | 暖房 20KW 最大温度は 450°C |
| 冷却する | 工業用冷却機 (冷水) |
| パワーマックス | 100KW (約) |
| 平均的な電力消費量 | 45 KW (約) |
| 総重量 | T (約) |
| 足跡 | (L*W*H) 4000*4000*3600MM |
| 電力 | AC 380V/3相/50HZ / 5ライン |
円筒型スプッターカソード 平面スプッターカソード
ロイヤル・テクノロジーは 完全なコーティング・ソリューションを 提供できることを光栄に思います
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マグネトロンスプッタリング 堆積システム アプリケーション...
