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密閉場不均衡磁気スプッターシステム

マグネトロンの放出させるコータ
2025-02-11
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不均衡および閉場磁気電子プロセスは,平面磁気電子のすべての利点を有する.追加の利点とデメリットとは: 濃厚で粘着性のあるフィルムを生成する追加のイオン爆撃 イオンアシストと基板の清掃が可能 トリボロジカル,耐磨性,耐腐蝕性のあるフィルム 多層,超格子,ナノラミナント,ナノ複合材料のフィルムに変形可能 材料の使用が減る より複雑なカソード構成/費用 不均衡で閉ざされた磁石電子噴射は,磁石電子噴射プロ... もっと眺め
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