Ni PVD スパッタリング コーティング プラント、Cr 真空メタライジング システム、Sn /Ag 真空メッキ装置、銅メッキ プラント
機器の構造:
RTAC1215-SP 装置はオクタカル型で、真空ポンプ、アークカソード 8 個を取り付けた真空チャンバー、リニアイオン源 1 台、DC スパッタリングカソード 2 セット、MF スパッタリングカソード 1 対で構成されています。イオン源、スパッタリングカソードを取り付けたフランジは標準化されており、実際のコーティングプロセスの要求に基づいて柔軟に交換できます。
アプリケーション:
1. セラミック シール部品の DPC 産業、DPC プロセス、銅 PVD スパッタリング システム、クーパー メッキ、Al の LED セラミック チップ2〇3、AlN セラミック回路基板、LED 上の Al2O3 プレート、半導体
2. 銀、Ni、クロム、金、アルミニウム、In、Sn などの金属膜および TiN、TiAlN、TiC、TiO、CrC、CrCN、CrN など。
利点:
1. 費用対効果の高い生産
2.ワークステーションの人間化（ワークステーションの人間工学に基づいた設計、スペースの最小化、騒音、事故の危険性）
3.高品質の収量。
4.強力な加熱装置とプラズマ源洗浄による強力な接着力。
5. コンパクトな設計で、アップグレードやメンテナンス作業が容易です。
6.完全自動化、PLC +タッチスクリーン、ワンタッチ制御システム。
7. 少ない消費電力で高効率、最大。生産コストを 50% 削減。
技術仕様:
1. 到達真空度: 9.0*10 以上-5パ;
3.排気時間：atmから1.0×10まで-3Pa≤15 分 (室温、乾燥、クリーン、空のチャンバー)
4. 蒸着源: Gencoa マグネトロン スパッタリング カソード、ステアリング アーク カソード、イオン源
5. 操作モデル: 全自動/半自動/手動
6.暖房：室温から最高まで。500℃、
9. PECVD および PA PVD プロセス用のイオン源。
真空コーティング機には、以下にリストされている主要な完成システムが含まれています。
1. 真空チャンバー
1.1 サイズ: 内径: 1200 mm
内部の高さ: 1500mm
1.2 材質：真空チャンバー SUS304
扉・フランジ SUS304
チャンバー強化構造：SS41軟鋼、塗装仕上げ表面処理。
チャンバーシャーシSS41軟鋼塗装仕上げ表面処理。
1.3 チャンバーシールド：SUS304
1.4 ビュー ウィンドウ: ドアに 2 つ
1.5 真空チャンバーベントバルブ（サイレンサー含む）
1.6 扉：SUS304材
2.荒引き真空排気システム：
油回転ベーン真空ポンプ＋ホールディングポンプ
磁気浮遊分子ポンプ - 2台
4. 電気制御および操作システム- PLC+ タッチスクリーン操作システム:
サプライヤー：
PLC: 三菱 + タッチスクリーン (中国製)
電子部品: シュナイダー、オムロン。
安全保護システム:オペレーターと機器を保護するための多数の安全インターロック (水、現在のガス、温度など)
塗装工程システム: プロセスの自動化と制御。
4.1 主回路：ノーヒューズ遮断器スイッチ、電磁開閉器、C/T 直列タイプ
4.2 電源: DC/MF スパッタリング電源 + DC アーク電源 + バイアス電源
4.3 成膜制御システム
4.4 操作システム: タッチスクリーン + PLC、レシピ制御とデータロギング、自動シャットダウン、自動避難、自動コーティング
4.5 測定システム
真空圧力: 真空計: ピラニ + ペニング ゲージ + フル レンジ真空計 -- ヨーロッパ ブランド
温度測定器：熱電対
MFC：マスフローコントローラー（4ウェイ）、
4.6 警報システム: 圧縮空気圧力、冷却水の流れ、誤操作
4.7 電力負荷インジケータ: 電圧インジケータと負荷電流インジケータ
5.成膜装置
5.1 蒸着源: スパッタリングカソード + アーク源 + イオン源
5.2 蒸着材料: 銅、アルミニウム、クロム、銀、金、SS、チタンなど
6.サブシステム
6.1 空気圧縮弁制御システム
6.2 冷却水系統：通水管と切替弁系統
圧縮空気: 5~8kg/cm2
冷却水: ウォーターイン温度: 20~25℃, 200 リットル/分,
水圧: 2~3 kg/cm2,
電源: 3 相 380V 50Hz(60Hz)、130kVA、平均消費電力: 60KW
設置面積: (L*W*H)4400*3200*2950mm
排気：機械式ポンプのベント
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションでお客様をサポートします。
