PECVDの薄膜のコータ、イオン源血しょうはPVDの沈殿システムを高めた
私達なぜか。
標準化された生産のプロシージャおよび厳密なテストと結合される高度の生産のmachineriesは（、の真空の漏れ試験切断溶接製粉する）高貴な技術が良質、信頼できるおよび安価の塗装システムを作り出すことを可能にする。
質、サービスおよびオン・タイム配達は高貴な技術のビジネスの中心の原則である。専門家に率直に簡単な部品を外部委託することの作戦は主要部分および部品R & Dの製造業への注意を集中することを許可する私達を製造する。
修飾された製造者の厳密な品質管理の方針そして厳密な選択は高貴な技術の顧客を最高で受け取る最先端の、上限の質装置の現実的な費用を保証する。
基幹技術は燃料として水素と酸素間の電気化学の反作用によって燃料電池力モジュールとの電気エネルギーを発生させる方法をである。
力モジュールの主重要な部分として水素の燃料電池、科学者、エンジニアは交通機関の組織および世界的な車からの教授し、たくさんテストを最終的に見つけた適切な処理を製造する。
それは100%のenvrionmetally友好的な技術およびvechilesである。
私達の機械RTSP1200モデルはこのappliationのために専ら設計され、開発される。私達は上海Jiaotong UnversityにSAIC Motor Corporationの有限会社協力し。
高い均等性、強い付着SiCの薄膜を沈殿させるPECVD （血しょうによって高められる化学気相堆積）の技術の水素の燃料電池力モジュールの放出させるシステム。
水素の燃料電池の放出させる機械はイオン源、バランスをとられた/unblanced放出させる陰極の含んでいる;安定した、大きい容積の真空のポンプ施設管理を使って。
水素の燃料電池力モジュールの放出させるシステム仕様書
| モデル | RTSP1200 | |||||||||
| 材料 | ステンレス鋼（S304） | |||||||||
| 部屋のサイズ | Φ1200*1300mm （h） | |||||||||
| 部屋のタイプ | 前部および背部2ドアの構造、垂直 | |||||||||
| 単一ポンプ パッケージ | カム形油回転真空ポンプ | |||||||||
| ルーツ真空ポンプを | ||||||||||
| 磁気懸濁液の分子ポンプ | ||||||||||
| 回転式ベーン・ポンプ（ポンプを握る） | ||||||||||
| 技術 | 放出させるマグネトロン イオン源PECVD | |||||||||
| 電源 | 放出させる電源+バイアス電源+イオン源 | |||||||||
| 沈殿源 | 2組DC/RFの放出させる陰極+ （を使用して予備2組） +イオン源 | |||||||||
| 制御 | PLC+Touchスクリーン | |||||||||
| ガス | ガスのマス フローのメートル（ArのN2、C2H2、O2）アルゴン、窒素およびEthyneの酸素 | |||||||||
| 安全システム | オペレータおよび装置を保護する多数の安全保護インターロック | |||||||||
| 冷却 | 冷水 | |||||||||
| クリーニング | グロー放電/イオン源は | |||||||||
| 力MAX。 | 150KW | |||||||||
| 平均出力の消費 | 75KW |
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特別な設計されていた棚およびジグ システムは基質の便利な負荷/荷を下すのためのの移動を完全に取ることができる。
より多くの指定のための私達に、高貴な技術総コーティングの解決を提供するために名誉を与えられる連絡しなさい。
