青い金属部分MFの放出させるシステムは金属部分、ステンレス鋼の目的の一般的なグラファイト、漆黒、青い色等の装飾へ統合された多数の沈殿ソース マシンです。上限のクラスの贅沢なプロダクトのために特に使用されて好んで下さい:電子工学:スマートな電話、カメラ、ラップトップ、ゴルフ、スプーン、フォーク、ナイフ、ドア ハンドル、コック;指リング、ネックレス、イヤリング、ブレスレット等の宝石類。
青い金属部分MFの放出させるシステムに多数の沈殿源があります:
固体金属ターゲットの蒸発のための操縦された円アークの源;
2組のグラファイトの薄膜の層の沈殿のためのMF unblanced放出させる陰極;
前処理のための血しょう区域を形作るイオンbomboardmentのためのバイアス電源;
陽極線形イオン源の単位(任意のために) PACVDおよびPECVDの処理;
水分子凝縮のためのCryopump (Polycold) (任意のために)
MFは何を放出させていますか。
放出させるDCおよびRFと比較されて放出させる中間周波数は光学コーティング、太陽電池パネル、多数の層、複合材料のフィルム等のような表面の誘電性および非導電フィルムのコーティングのフィルムの沈殿のためのコーティングの大量生産のための主要な薄膜の放出させる技術に、特になりました。
それは大いにより速い溶着速度のためのMHzよりもむしろkHzとそれによるRFの放出を作動し、またDCのような混合の薄膜の沈殿の間にことができますターゲット中毒を避ける取り替えています。
MFの放出させるターゲットは2セットと常にありました。2つの陰極はそのの間であちこちに転換するAC流れとターゲット表面をきれいにするかそれが血しょうにしぶきを吹き出し、均一薄膜の成長を防ぐことができるアークに導く誘電体の充満蓄積を減らすためにどれが各逆転と使用されます---私達がTarget Poisoningと呼んだことはであるかどれ。
MFの放出させるシステム パフォーマンス
1. 最終的な真空圧力:5.0×10-6トルよりよくして下さい。
2. 作動の真空圧力:1.0×10-4トル。
3. Pumpingdownの時間:1台の自動支払機から1.0×10-4 Torr≤への3分(乾燥した室温は部屋をきれいにし、空けます)
4. 材料を(+アークの蒸発放出させる)金属で処理すること:NI、CU、Ag、Au、チタニウム、Zr、Cr、錫、TiC、TiAlN、CrN、CrC、等。
5. 作動モデル:手動で完全な自動的に/Semi-Auto/
MFの放出させるシステム構造
真空メッキ機械は下記に記載されているキー完了されてシステムを含んでいます:
1. 真空槽
2. Rouhgingの真空ポンプ システム(裏付けポンプ パッケージ)
3. 高真空ポンプ システム(磁気的に懸濁液の分子ポンプ)
4. 電気制御および操作システム
5. Auxiliarry設備システム(サブシステム)
6. 沈殿システム:MFの放出させる陰極、MFの電源、任意のためのバイアス電源イオン源
青い金属部分の装飾MFの放出させるシステムの大きさ:
部屋の内法:Dia 1200 mm | 1600mm
部屋の内部の高さ:1250mm | 1300mm
3Dプロダクトの鏡の様な要求に基づくカスタマイズされた機械サイズはまた利用できます。
MFの放出させるシステムRTAC1250-SPMF指定
モデル | RTAC1250-SPMF | ||||||
技術 | 放出させるMFのマグネトロン+イオンめっき | ||||||
材料 | ステンレス鋼(S304) | ||||||
部屋のサイズ | Φ1250*H1250mm | ||||||
部屋のタイプ | シリンダー、垂直、1ドア | ||||||
放出させるシステム | 薄く黒いフィルムの沈殿のための専ら設計 | ||||||
沈殿材料 | アルミニウム、銀、銅、Chromeのステンレス鋼、 ニッケル |
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沈殿源 | 2セットはMFの円柱に放出させることが目標とする+ 8つを陰極アークの源+任意のためのイオン源を操縦しました | ||||||
ガス | MFC- 4の方法、ArのN2、O2、C2H2 | ||||||
制御 | PLC (プログラム可能な論理のコントローラー) + | ||||||
ポンプ施設管理 | SV300B - 1セット(Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1つはセット(Leybold) | |||||||
D60T- 1セット(Leybold) | |||||||
ターボ分子ポンプ:2* F-400/3500 | |||||||
前処理 | バイアス電源:1*36 KW | ||||||
安全システム | オペレータを保護する多数の安全保護インターロック | ||||||
冷却 | 冷水 | ||||||
電気力 | 480V/3 phases/60HZ (迎合的な米国) | ||||||
460V/3 phases/50HZ (迎合的なアジア) | |||||||
380V/3 phases/50HZ (迎合的なEU-CE) | |||||||
足跡 | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
総重量 | 7.0 T | ||||||
足跡 | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
サイクル時間 | 30~40分(基質材料によって、 基質の幾何学および環境条件) |
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力MAX。 | 155のKW | ||||||
平均出力 消費(およそ) |
75のKW |
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