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#真空沈殿システム #pvdのコーティング装置 #堅いコータ

1. 真空室は垂直で1つの開いたドア, 304ステンレス鋼製,真空室の内径から φ1000mm-Φ2200mm;2ローータリーバネポンプ,ルーツポンプ,オイルディフュージョンポンプまたは分子ポンプ構造による真空システム3. コーティングシステムは,スプッタリング電源を制御するために1〜2つの中間周波数磁気を使用し,標的を制御するために1〜2ペアの不均衡磁気があり,6〜40の弧源を持っています.4高... もっと眺め

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