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| ブランド名: | ROYAL |
| モデル番号: | DPC1215 |
| MOQ: | 1 |
| 価格: | Negoitable |
Au Gold Sputtering Deposition Equipment,Silve/Gold PVD Deposition Machine,conductive film PVD Sputtering System (オール・スプッターングデポジション機器,シルバー/ゴールドPVDデポジションマシン,導電フィルムPVDスプッターングシステム)
概要:DPCプロセスは,LED/半導体/電子産業に適用される高度なコーティング技術である.典型的な応用は,セラミック放射基板である.アルミニウムオキシド (Al2O3) の上でのクーパー導電膜堆積伝統的な製造と比較して,PVD真空スプッター技術によるAlN基質
方法:DBC LTCC HTCC,生産コストがはるかに低くなっているのはその高い特徴です.
ロイヤル・テクノロジーチームは PVDスプッター技術で DPCプロセスを成功裏に 開発するのに 顧客を支援しました
キーワード:DPCプロセス,銅PVDスプッターリングシステム,コッパープレート付きLEDセラミックチップ,Al2オー3アルノセラミック回路板,アル2O3プレート LED,半導体
適用するDPC:
■ HBLED
ソーラーコンセントレーター電池用基板
自動車用モーター制御を含むパワー半導体パッケージ
■ハイブリッド・電気自動車の電力管理電子機器
● RF パッケージ
· マイクロ波装置
DPC 技術の性能
各種基材:セラミック (Al3O2,AlN),ガラス,Si
特徴:
テクニカル仕様
1究極真空圧:9.0*10以上-5パパ
3ポンプダウン時間:ATMから1.0×10-3Pa≤15分 (室温,乾燥,清潔,空室)
4堆積源: ジェンコア マグネトロン 噴射 カソード, 誘導弧 カソード, イオン 源
5動作モデル: 完全自動/半自動/手動
6室温から最大500°Cまで
9PECVDとPAのPVDプロセスのためのイオン源.
真空塗装機には,以下のリストのキーコンプリートシステムが含まれます.
1掃除室
1.1 サイズ:内径:1200mm
内部高さ:1500mm
1.2 材料:真空室 SUS304
ドアとフレンジ SUS304
カメラ強化構造: SS41 軽鋼,塗装された表面処理.
カメラ・シャシー SS41 薄型鋼 塗装された表面処理
1.3 カメラシールド:SUS304
1.4 窓を見ろ ドアに2
1.5 真空室換気バルブ (サイレンサーを含む)
1.6 ドア:SUS304素材
2ローぐるぐるバキュームポンプシステム:
オイル回転バネ真空ポンプ + 保持ポンプ
3高真空ポンプシステム:磁気懸垂分子ポンプ - 2セット
4電気制御・操作システム-PLC+タッチスクリーン操作システム:
提供者:
PLC: 三?? +タッチスクリーン (中国製)
電子部品:シュナイダー,オムロン
安全保護システム:操作者と設備 (水,ガス流,温度など) を保護するための多数の安全インターロック
コーティングプロセスのシステムプロセスの自動化と制御
4.1 メイン回路:非シューズブレーカースイッチ,電磁スイッチ,C/T
4.2 電源:DC/MFスプッターパワー + DCアーチパワー +バイアス電源
4.3 堆積制御システム
4.4 操作システム:タッチスクリーン+PLC,レシピ制御とデータ記録,自動シャットダウン,自動避難,自動コーティング
4.5 測定システム
真空圧:真空計:ピラニ+ペニング計+フルレンジ真空計--ヨーロッパブランド
温度測定装置:熱対
MFC:質量流量制御器 (4つの方法)
4.6 警報システム:圧縮気圧,冷却水の流れ,不具合
4.7 電源負荷表示:電圧表示と負荷電流表示
5貯蔵システム
5.1 堆積源: 噴射カソード+弧源+イオン源
5.2 堆積材料:銅,アルミ,クロム,銀,金,SS,チタンなど.
6.サブシステム
6.1 圧縮空気バルブ制御システム
6.2 冷却水システム:流水管とスイッチバルブシステム
7労働環境
圧縮空気: 5~8kg/cm2
冷却水:水中の温度: 20~25°C,200リットル/分
水中圧: 2~3 kg/cm2
電力:3相 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA,平均電力消費量: 60KW
設置面積: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
排気:機械ポンプの換気口
ロイヤル・テクノロジーは 完全なコーティング・ソリューションを 提供できることを光栄に思います
