CsI950 高真空蒸着システムは、超高真空環境でのシンチレーション スクリーン上での CsI および TII メタライゼーション専用に設計されています。厚さ200～600μmのCsIシンチレータは、厚さの均一性と輝度性能に優れています。
イメージングの超高空間解像度;
よりシャープなイメージングのための高速応答。
エッジからエッジまでの画像領域を分類します。
光吸収層または反射層。
患者の X 線量が少ない。
適用される基板:TFTガラス、光ファイバープレート、アモルファスカーボンプレート、アルミプレート
応用：セキュリティチェックと検査、高エネルギー物理学教育、核放射線検出、医用画像検査：胸部検査、マンモグラフィー、歯科口腔内およびパノラマ。
技術的利点
Royal Technology は、CsI950 と CsI950A+ の 2 つのモデルのマシンを提供しています。
モデル CsI950A+ は、第 1 世代の CsI950 に基づいて更新され、その利点:
1.効率
・CsI-950A+モデルはジェネレーションワンのCsI-950モデルをベースに2回転ラック構造。
-最大のダブル容量。サイズ基板：500×400mm。
2.再現性と再現性
-高精度なパラメータ制御システムにより、
-自動化されたプロセス制御ソフトウェアとプログラム、
-ユーザーフレンドリーな操作。
3. 信頼性
- 24 時間 365 日ノンストップで稼働。
- Inficon Film Thickness Controller は、膜厚をインラインで監視します。
・温度制御精度：±1℃、多段設定、温度データ自動記録・制御
- 高精度と安定性を実現するサーボモーターを搭載したロータリーラック。
4. 安全性
-高真空ポンプ: 危険物質が空気中に露出するのを避けるための窒素ガス吹き込み装置を備えた磁気サスペンション分子ポンプ;
-すべての電極には安全保護スリーブが装備されています。
技術パラメータ
| 説明 | CsI-950 |
CsI-950A+
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堆積室 (mm)
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φ950×H1350 |
φ950×H1350
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| ロータリーラックの積載 | 1 | 2 |
| 蒸発源 | 2 |
2
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| 加熱方法 |
ヨウ素タングステンランプ 最大。1800℃ |
ヨウ素タングステンランプ 最大。1800℃ |
| 到達真空圧(Pa) | 8.0×10-5Pa | 8.0×10-5Pa |
| 磁気浮遊分子ポンプ | 1×3400L/S |
1×3400L/S
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| ルーツポンプ | 1×490m³/時 |
1×490m³/時
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| ロータリーベーンポンプ | 1×300m³/時 |
1×300m³/時
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| 成膜コントローラー | クォーツコントロール×1 |
クォーツコントロール×1
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| 消費電力 (KW) |
最大。約。62 平均約。32 |
最大。約。65 平均約。35 |
インサイト
場所: 中国
