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| ブランド名: | ROYAL |
| モデル番号: | Multi950 |
| MOQ: | 1 セット |
| 価格: | depends on |
| 支払条件: | L/C,T/T |
| 供給能力: | 毎月10セット |
TPVDとPECVD技術をハイブリッドコーティングマシンに統合することで,コーティング品質,汎用性,制御性,効率性,コスト削減の改善につながる利点がいくつかあります.カスタマイズ持続可能性
マルチ950は ロイヤル・テックの 設計上での コーティング・システムのマイルストーンです彼の創造性と無私的な献身は 無限の価値であり 私たちのチームにインスピレーションを与えました.
プレッサー・チェンとの別のプロジェクト協力がありました
イムオ・ヤン氏と チェン教授の指導と指導を心から感謝します
Multi950 機械の特性:
コンパクトフットプリント
標準モジュール設計
柔軟性
信頼性がある
オクタル・チェンバー
簡単にアクセスできるように 2ドア構造
PVD + PECVD プロセス
デザインの特徴:
1柔軟性:アーチとスプッティングカソード,イオン源のマウントフレンズは柔軟な交換のために標準化されています.
2汎用性:様々な普通金属と合金,光学コーティング,ハードコーティング,ソフトコーティング,複合フィルムと固体潤滑フィルム,金属および非金属材料の基板.
3ストレート・フォワード・デザイン: 2ドア構造,前と後ろの開口が容易なメンテナンスのため.
マルチ950機械は,研究開発のための多機能真空堆積システムです. 上海大学教授率いるチームと半年の議論の後,R&Dアプリケーションを満たすために設計と構成を最終的に確認しましたこのシステムは,PECVDプロセスで透明なDLCフィルム,ツールに硬いコーティング,スプッターキャソードで光学フィルムを貯蔵することができます.このパイロットマシン設計コンセプトに基づいて,その後,3つのコーティングシステムを開発しました:
1燃料電池用電気自動車のための二極板のコーティング- FCEV1213,
2陶磁直塗銅-DPC1215
3柔軟なスプッターシステム RTSP1215
この4つのモデルは オクタル・チャンバーで 柔軟で信頼性の高い性能で 様々な用途で広く使用されています塗装プロセスを満たすために,複数の異なる金属層を必要とします.: アル,Cr,Cu,Au,Ag,Ni,Sn,SSおよび他の多くの非フェア磁気金属
プラズマエッチング性能により 異なる基板材料へのフィルム粘着を効率的に強化し,PECVDプロセスはいくつかの炭素ベースの層を堆積します.
Multi950 - テクニカル仕様
| 記述 | マルチ-950 |
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堆積室 (mm) 幅 × 深さ × 高さ |
1050 x 950 x 1350 |
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貯金源 |
1ペアMFスプッターカソード |
| 1対のPECVD | |
| 8組のアーチカソード | |
| 線形イオン源 | 1セット |
| プラズマ均一性ゾーン (mm) | φ650 x H750 |
| カロセル | 6 × φ300 |
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パワー (KW) |
バイアス: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 × 36 | |
| 弧: 8 × 5 | |
| イオン源: 1 x 5 | |
| ガス制御システム | MFC: 4 + 1 |
| 暖房システム | 500°C,熱対PID制御で |
| 高真空ゲートバルブ | 2 |
| トルボ分子ポンプ | 2 × 2000L/S |
| 根ポンプ | 1 x 300L/S |
| ローータリーバネスポンプ | 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h |
| 足跡 (L x W x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| 総電源 (KW) | 150 |
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