マグネトロンスプッティング堆積システム

  Photonicsは疎水性構成のフィルムおよび他の機能フィルムのための沈殿システムを放出させます

適用:

RTSP1213機械は金属および非金属材料の基質のバッチ モデル放出させるシステム、缶の沈殿物のさまざまで堅いコーティング、柔らかいコーティング、混合のフィルムおよび固体注油フィルムです。水素の燃料電池車、photonicsプロダクト、大気および宇宙空間および他の新しいエネルギー産業の企業に適用される。

特性:

表面の伝導性を改善するため;

 高い耐食性;

 高い耐久性;

 高い硬度

 疎水性構成のフィルムおよび他の機能フィルム

混合のコーティングのために利用できる:金属および非金属フィルム。

100nmからの12μmへのフィルム厚さの範囲、厚さの許容±5%
 強い付着。

 低い和らげる部品の表面の堅くなる処置。

タイプ:

縦のオリエンテーション、多面体の構造、2ドア（前部および背部）

特徴:

• 環境に優しいシステム、産業廃棄物の水、空気および騒音公害無し;
• 容易な操作:タッチ画面+ 1つの接触操作、80%以上トラブルシューティング警報のためのPLC制御および独特なソフトウェア プログラム。
• 10までの処理の調理法ログインおよびバックアップ;高い反復性および多様性。
• フィルムの沈殿の高い均等性のためのコンベヤー システムの特別な設計。
• 高い生産性および良質
• 365日* 24hrs --を稼動する安定した、信頼できるシステム（時間を壊す維持および修理）
• 効率のポンプ施設管理:有名なヨーロッパのブランド ポンプを搭載する最高の配管速度のためのより短い真空の配管ライン
• コンパクト デザインは最低の設置スペースを占めます。

技術仕様

• 性能

1. 最終的な真空圧力:8.0*10-5 Paよりよくして下さい;

• 真空圧力を基づかせて下さい:3.0*10-4 Pa

3. ポンプ ダウンタイム:自動支払機から1.0×10-3 Pa≤15分への（乾燥した室温は部屋をきれいにし、空けます）

4. 沈殿源:釣り合った/放出させる陰極の平衡を失いました

5. 作動モデル:手動で完全な自動的に/Semi-Auto/

6. 熱すること:最高までの室温から。450℃、

7. 血しょうクリーニングおよび血しょう援助の沈殿:陽極線形イオン源

8. ファイルされる磁気クローズド・ループ。（不均衡/バランスの陰極）

9. 白熱排出のためのバイアス電源。

• 構造

真空メッキ機械は下記に記載されているキー完了されてシステムを含んでいます:

1. 真空槽
1.1サイズ:内部の直径1200mm

内部の高さ:1300mm

1.2材料:真空槽SUS304

ドアおよびフランジSUS304

部屋は構造を増強します:塗られた終わりの表面処理のSS41穏やかな鋼鉄。

塗られた終わりの表面処理の部屋のシャーシSS41の穏やかな鋼鉄。

1.3放出させる盾:SUS304

1.4眺めの窓:部屋のドア- 4セット（各ドアの2）

1.5真空槽のガス抜き弁（を含む消音装置）

1.6ドア:SUS304材料

2. 荒削りの真空のポンプ施設管理:

オイルの回転式ベーンの真空ポンプ+Rootsポンプ+握りますポンプ（Leybold）を

3. 高真空ポンプ システム:

磁気懸濁液の分子ポンプ（Leybold）

• ゲート弁- 2セット

4. 電気制御および操作システムPLC+タッチ画面

4.1本管回路:どれもヒューズのブレーカ スイッチ、電磁石スイッチ、シリーズ タイプのC/T

4.2放出させる電源+イオン源の電源+バイアス電源（高度エネルギー）

4.3放出させる沈殿制御システム

4.4操作システム:タッチ画面+ PLC、調理法制御およびの自動操業停止、自動避難、自動コーティング データ ロギング

4.5測定システム

真空圧力:真空ゲージ:Pirani +ゲージを+フル レンジの真空ゲージ ペンで書きます--ヨーロッパのブランド

温度の測定器:熱電対
MFC:マス フローのコントローラー（4つの方法）、デジタル表示装置モード--ヨーロッパのブランド

4.6警報システム:圧縮空気圧力、冷却の水流、Mis操作

4.7力の負荷表示器:電圧表示器および負荷流れの表示器

5.沈殿システム

5.1沈殿源:放出させる陰極、イオン源--ヨーロッパのブランド

5.2沈殿材料:カーボン ターゲット

6. サブシステム

6.1空気圧縮された弁の制御システム

6.2冷水システム:水流管およびスイッチ弁システム

7.Working環境

圧縮空気:5~8kg/cm2

冷水:温度水:20~25℃、200リットル/分、
圧力水:2~3 kg/cm2、

力:3段階380V 50Hz （60Hz）、75kVAの平均出力の消費:40KW

設置区域:（L*W*H） 3000*4000*3200mm

排気:機械ポンプのための出口

なぜ私達か。

1. 標準化された生産のプロシージャおよび厳密なテストと結合される高度の生産のmachineriesは（、の真空の漏れ試験切断溶接製粉します）高貴な技術が良質、信頼できるおよび安価の塗装システムを作り出すことを可能にします。

2. 質、サービスおよびオン・タイム配達は高貴な技術のビジネスの中心の原則です。専門家に率直に簡単な部品を外部委託することの作戦は製造する主要部分および部品R & Dへの注意を集中することを許可します私達を製造します。

3. 修飾された製造者の厳密な品質管理の方針そして厳密な選択は高貴な技術の顧客を最高で受け取ります最先端の、上限の質装置の現実的な費用を保証します。

より多くの指定のための私達に、高貴な技術総コーティングの解決を提供するために名誉を与えられます連絡して下さい。

完了されたパンフレットをダウンロードするためには、ここにかちりと鳴らして下さい:  R & Dの真空メッキ機械- PECVD + PVDのdepositio…