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| ブランド名: | ROYAL |
| モデル番号: | RTAS1250 |
| MOQ: | 10 セット |
| 価格: | 交渉可能 |
| 支払条件: | L/C、D ・ D ・ P T/T |
| 供給能力: | 1 ヶ月あたりの 6 セット |
ティーンゴールド 中周波磁気スプッターコーティングマシン/MFスプッターシステム
マグネトロンスプッティング真空コーティングは,PVDイオンプラチング表面処理メントの一種である. 導電性または導電性でないフィルムの生産に使用することができます.ガラス塗装材料 (標的,またカソードとも呼ばれ) と作業部品 (基板,圧力が減少し,真空室に入れます.スプッターリングは,標的を電圧差値に置き,アルゴンイオンを形成するアルゴンガスを導入することによって開始されます.アルゴンイオンはプロセス目標に向かって加速し,標的原子を移動しますこれらの噴射原子は,その後基板に凝縮され,非常に薄い高均質な層を形成します.様々な色は,窒素,酸素,またはアセチレンを塗装過程でスプッターガスに.
マグネットロンスプッターモデル:DCスプッター,MFスプッター,RFスプッター
MF スプッティングとは?
DCやRFのスプートリングと比較して,ミッド周波数スプートリングは,コーティングの大量生産のための主要な薄膜スプートリング技術になりました.特に,光学コーティングなどの表面に,電解膜や非導電膜コーティングをフィルムで堆積させるためソーラーパネル,多層,複合材料フィルムなど
これは,より速い堆積速度のためにMHzではなくkHzで動作しているため,RF噴射を代替しており,DCのような複合薄膜堆積中にターゲット中毒を回避することができます.
MFスプッターターゲットは 2組で常に存在しました Two cathodes are used with an AC current switched back and forth between them which cleans the target surface with each reversal to reduce the charge build up on dielectrics that leads to arcing which can spew droplets into the plasma and prevent uniform thin film growth--- which is what we called Target Poisoning.
MFスプッティングシステムの性能
1極限真空圧:5.0×10以上-6トール
2動作真空圧: 1.0×10-4トール
3ポンプダウン時間: 1 atm から 1.0×10-4熱度≤3分 (室温,乾燥,清潔,空室)
4金属化材料 (スプッター + 弧蒸発): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrCなど
5動作モデル: 完全自動/半自動/手動
MFスプッターシステム構造
真空塗装機には,以下のリストのキーコンプリートシステムが含まれます.
1掃除室
2. 荒らした真空ポンプシステム (バックポンプパッケージ)
3高真空ポンプシステム (磁気懸垂分子ポンプ)
4電気制御と操作システム
5補助施設システム (サブシステム)
6. 堆積システム: MFスプッターカソード,MF電源,バイアス電源 オプションのためのイオン源
MFスプッティングシステム RTSP1212-MF 仕様
| モデル | RTSP1212-MF | ||||||
| テクノロジー | MF マグネトロンスプッター + イオン塗装 | ||||||
| 材料 | ステンレス鋼 (S304) | ||||||
| 部屋の大きさ | Φ1250*H1250mm | ||||||
| 部屋のタイプ | シリンダー,垂直,1ドア | ||||||
| 噴射システム | 薄黒いフィルムの堆積のための設計のみ | ||||||
| 申告資料 | アルミ,シルバー,銅,クロム,ステンレス鋼 ニッケル |
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| 預金源 | 2セットMFシリンダ式スプッティングターゲット + 8つの誘導式カソド弧源 | ||||||
| ガス | MFC- 4つの方法,Ar,N2,O2,C2H2 | ||||||
| コントロール | PLC (プログラム可能な論理コントローラー) + | ||||||
| パンプシステム | SV300B - 1セット (レイボルド) | ||||||
| WAU1001 - 1セット (レイボルド) | |||||||
| D60T-2セット (レイボルド) | |||||||
| ターボ分子ポンプ: 2* F-400/3500 | |||||||
| 治療前 | バイアス電源:1*36 KW | ||||||
| 安全システム | 操作者を保護するための多くの安全鍵 | ||||||
| 冷却する | 冷たい水 | ||||||
| 電力 | 480V/3フェーズ/60HZ (米国対応) | ||||||
| 460V/3相/50HZ (アジア対応) | |||||||
| 380V/3フェーズ/50HZ (EU-CE対応) | |||||||
| 足跡 | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| 総重量 | 7.0 T | ||||||
| 足跡 | (L*W*H) 5000*4000*4000MM | ||||||
| サイクルの時間 | 30~40分 (基板材料によって, 基板の幾何学と環境条件) |
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| パワーマックス | 155 KW | ||||||
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平均電源 |
75 KW |
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