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| ブランド名: | ROYAL |
| モデル番号: | Multi950 |
| MOQ: | 1セット |
| 価格: | 交渉可能 |
| 支払条件: | L/C、T/T |
| 供給能力: | 1 ヶ月あたりの 26 セット |
ロイヤル・テクノロジー・マルチ950
PVD + PECVD 真空堆積機
Multi950機械は,研究開発のための多機能の真空堆積システムです.
チェン教授が率いる上海大学チームとの 激しい交流の後 最終的に設計と構成を 確認し,研究開発アプリケーションを 実現しましたこのシステムは,透明なDLCフィルムをPECVDプロセスで保存することができます.この実験機械設計コンセプトに基づいて,その後3つの他のコーティングシステムを開発しました.
1燃料電池用電気自動車のための二極板のコーティング- FCEV1213
2セラミック 直接塗装銅-DPC1215
3柔軟なスプッティングシステム-銅PCBゴールドプレートシステム
これらの3つの機械は,それぞれオクタゴナル・チャームがあり,様々なアプリケーションで柔軟かつ信頼性の高いパフォーマンスを可能にします.これは,コーティングプロセスを満足させ,さまざまな金属層を必要とします.,Cr,Cu,Au,Ag,Ni,Sn,SSなど多くの非鉄磁性金属ですプラズマエッチング性能により,異なる基板材料に対するフィルムの粘着性を効率的に向上させ,炭素基層を堆積するPECVDプロセスです
マルチ950は ロイヤル・テクノロジーの 先進的な設計のコーティングシステムの里程碑です上海大学の学生や 創意的で無私な献身で 指導してくれた 教授に感謝します彼の貴重な情報を 最先端の機械に 変えることができました
チェン教授と 協力したプロジェクトがありました
C-60材料の堆積は,誘導熱蒸発法によるもの.
イムオウ・ヤン氏と チェン教授は これらの革新的なプロジェクトにとって 根本的な役割を果たしました
技術 的 利点
デザイン の 特徴
1柔軟性:アーチとスプッティングカソード,イオン源のマウントフレンジは柔軟な交換のために標準化されています
2汎用性:様々な不金属と合金,光学コーティング,硬コーティング,柔らかいコーティング,複合フィルムと固体潤滑フィルム,金属および非金属材料の基板
3ストレート・フォワード・デザイン: 2ドア構造,前と後ろの開口が容易なメンテナンスのため
テクニカル仕様
モデル:マルチ-950
堆積室 (mm)
直径 × 高さ: φ950 × 1350
堆積源: 1 組のMFスプッターカソード
1対のPECVD
8組のアーチカソード
1セット 線形イオン源
プラズマ均一性ゾーン (mm): φ650 x H750
カロセル: 6 xφ300
パワー (KW) バイアス: 1 x 36
MF スプッターパワー (KW): 1 x 36
PECVD (KW): 1 × 36
弧 (KW): 8 × 5
イオン源 (KW): 1 x 5
ガス制御システム MFC: 4 + 1
暖房システム: 18KW,最大500°C,熱カップルPID制御
高真空ゲートバルブ: 2
ターボ分子ポンプ: 2 x 2000L/S
根ポンプ: 1 x 300L/S
ローータリーバネスポンプ: 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h
足跡 (L x W x H) mm: 3000 * 4000 * 3200
総電源 (KW): 150
レイアウト
建設時期:2015年
場所:中国上海大学
