高性能の真空の金属の沈殿装置、熱るつぼによるCsIの真空のmetallizer
キーワード:高リゾリューション、CsI:T1;薄いscintillatorのフィルム;X線イメージ投射;真空沈殿方法、カーボン層の後沈殿
X線の撮像装置のためのCsIの薄膜の沈殿は良質をのイメージ投射与えるためにスクリーンのCsIを蒸発させる高度の技術である。核エネルギー区域等の保証点検および点検、高エネルギー物理学の主題、物理学で広く利用された高リゾリューションの性能を使って、また。
RTEP0913熱蒸発の塗装システムは高真空圧力環境のX線イメージ投射のCsIのフィルムの沈殿のために開発された。2 μmから厚さの14 μmまで及ぶCsI T1のscintillators。カーボン層のフィルムは後沈殿として高リゾリューションを改善すると考慮することができる。
セシウムのヨウ素化合物（CsI T1）の真空沈殿性能および性格描写
タイプ:
l縦のオリエンテーション、シリンダー、1ドア、前部開始。
設計特微:
l超高度の最終的な真空圧力:9.0*10-5 Paまで;
よい付着のためのl速い暖房装置;
空気で露出される物質的危険にさらすために避けるべきl適切な高真空ポンプの選択およびポンプ施設管理;
lの強く、密集した固体塗装システム;
安定性が高いl 960 hrsを停止なしで働かせる。
フィルム厚さをインラインに監視するl Inficonのフィルム厚さのコントローラー装置。
l専らるつぼはCsIの沈殿のための選択設計し。
最高l基質のコーティング。サイズ:500*500mm
lは棚の設計思想をバッチごとの2部分の基質に荷を積むことができる非常に高める生産の出力を進めた。
技術仕様:
l性能
1.最終的な真空圧力: 9.0*10-5 Paよりよい;
2.作動の真空圧力:6.0*10-4 Pa |9.0*10-4 Pa;
基礎真空圧力:3.0*10-4 Pa
3. ポンプ ダウンタイム: 1台の自動支払機から2.0×10-3からPaの≤25の分（室温、乾燥した、きれいなおよび空の部屋）の
4. 沈殿源:水晶るつぼの熱蒸発
5. 作動モデル: 手動で十分に自動的に/Semi-Auto/
6. 暖房:最高までの室温から。1000℃、
時間を熱するTFTのガラス基質:0~250℃から<40mins>
7. CsIの溶着速度: 0~100nm/sec
8. CsI:T1フィルム厚さ:600μmまで
l構造
真空メッキ機械は下記に記載されている主完了されてシステムを含んでいる:
1. 真空槽
1.1サイズ: 内部の直径900のmm
内部の高さ:1300のmm
1.2材料: 真空槽SUS304
ドアおよびフランジSUS304
部屋は構造を増強する:塗られた終わりの表面処理のSS41穏やかな鋼鉄。
塗られた終わりの表面処理の部屋のシャーシSS41の穏やかな鋼鉄。
1.3蒸発の盾: SUS304
1.4眺めの窓:部屋のドア
1.5真空槽のガス抜き弁（を含む消音装置）
1.6ドア: SUS304材料
2. 大体の形になる真空のポンプ施設管理:
オイルの回転式ベーンの真空ポンプ+根はポンプでくむ（ドイツPfeiffer）
3.高真空ポンプシステム:
磁気懸濁液の分子ポンプ（ドイツPfeiffer）
4. 電気制御および操作システムPLC+タッチ画面
4.1主要な回路:どれもヒューズのブレーカ スイッチ、電磁石スイッチ、シリーズ タイプのC/T
4.2蒸発力
4.3蒸発の制御システム
4.4操作システム: タッチ画面+ PLC、調理法制御およびの自動操業停止、自動避難、自動コーティング データ ロギング
4.5測定システム
真空圧力:真空ゲージ:Pirani +ゲージを+フル レンジの真空ゲージ ペンで書く
温度の測定器:熱電対
フィルム厚さのコントローラー:Inficonのブランド、SQC-310
4.6警報システム: 圧縮空気圧力、冷却の水流、Mis操作
4.7力の負荷表示器: 電圧表示器および負荷現在の表示器
5.沈殿システム
5.1沈殿源: 水晶るつぼ
5.2沈殿材料:CsIのカーボン
6. サブシステム
6.1空気は弁の制御システムを圧縮した
6.2冷水システム:水流管およびスイッチ弁システム
労働環境
圧縮空気: 5~8kg/cm2
冷水: 温度水: 20~25℃、200リットル/分、
圧力水:2~3 kg/cm2、
力:3段階380V 50Hz （60Hz）、65KVAの平均出力の消費:30KW
設置区域: （L*W*H） 3000*200*2300のmm
排気:機械ポンプのための出口
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