カーミラー真空蒸着機 / アルミ、クローム 自動車ミラー真空蒸着システム
カーミラー真空蒸着機紹介
このマシンには、熱蒸着ソースとマグネトロン スパッタリング カソード ソースの 2 つの技術があります。さまざまなミラーアプリケーションに柔軟に対応できます。
マグネトロン スパッタリングは、ターゲット表面へのイオンの衝撃によってスパッタリング材料が放出されるプラズマ コーティング プロセスです。PVD コーティング機の真空チャンバーには、アルゴンなどの不活性ガスが充填されています。高電圧を印加することでグロー放電が発生し、イオンが加速されてターゲット表面に到達し、プラズマ コーティングが形成されます。アルゴンイオンはターゲット表面からスパッタリング材料を放出し(スパッタリング)、ターゲットの前の製品にスパッタリングされたコーティング層が形成されます。
熱蒸発源はタングステン フィラメントで、クロムまたはアルミニウムを蒸発させ、ガラス上にクロム/アルミニウム層を形成して高反射ミラーを形成します。
一般に、マグネトロン スパッタリングは、クロム、ステンレス鋼の材料をスパッタリングします。Al と Cu は、熱蒸発源で蒸着されます。
カーミラー真空蒸着機の特長
1. 真空チャンバーはステンレス製の縦型片扉構造です。チャンバーサイズΦ1400~2500mm
2.真空システムは、メカニカルポンプ、ルーツポンプ、拡散ポンプで構成されています。
3. 10~28 アークまたは 1~4 アーク カラムまたはプレーン アーク用のコーティング システム。
4.ハイパワーパルスバイアス電源。
5.膨張システムには、1〜4セットのマスフロー制御機器とガスフローディスプレイがあります。
6.電気制御システムには、回路の過負荷、水の遮断、空気の遮断のための音と光の警報装置が装備されています。
7. 制御システム (タッチ スクリーン + PLC) は、詳細なパラメータをリアルタイムで表示し、自動実行モードで生産プロセス全体を完全に自動的に制御します。
カーミラー真空蒸着機モデル
システム・モデル | RTEP1200-SPDC | RTEP1400-SPDC | RTEP1600-SPDC | |
チャンバーサイズ | 直径 | 1200mm | 1400mm | 1600mm |
身長 | 1400mm | 1600mm | 1800mm | |
主要 パフォーマンス |
到達圧力 | 10-4Pa | ||
操作圧力 | 1 ATM から 5x10-5 Pa まで 15 分以内 ( 無負荷 ) | |||
ウィンドウを表示 | 設定 | 1 | ||
の数 フィラメント |
個 | 18~22日 | 20~24 | 20~26 |
ポンピング システム |
先行グレード ポンプ |
70L/S | 150L/S | 150L/S |
ルーツポンプ | 600L/秒 | 1200L/秒 | 1200L/秒 | |
拡散ポンプ | 17500L/S | 30000L/秒 | 60000L/秒 | |
保持ポンプ | 30リットル/秒 | |||
層監視システム | クリスタルモニター | シングルセンサー/6個センサーヘッド | ||
真空計 | 1気圧~10-4Pa | |||
コントロールボックス | 設定 | 1 | ||
蒸発 電源 |
30KW | 35KW | 50KW | |
スパッタリングターゲット | 個 | 2~4 | ||
蒸発 電源 |
RFまたはDC | |||
システム操作 | 自動/手動 | |||
冷却水 流量 |
100L/分 | 120L/分 | 150L/分 | |
高真空 バルブ |
24インチ | 36インチ | 36インチ | |
ラフィングバルブ | 6インチ | 6インチ | 8インチ | |
フォアラインバルブ | 6インチ | |||
リークバルブ | 2インチ | |||
ホールディングバルブ (オプション) |
1インチ | |||
冷却塔 | 15 RT (水圧: 4kg/cm2; 圧力降下: 2kg/cm2) | |||
冷却水 | 入口: 18℃;アウトレット: 25℃;標準:20±1℃ | |||
電気制御システム | シーケンサ | |||
総電力 要件 |
75KW | 85KW | 95KW | |
環境 要件 |
クラス100,000のクリーンルーム。エポキシ床材;空調;Temp.25±3℃;HUM50±10 |
ロイヤルテクノロジーは、ガラスの切断、洗浄、曲げ、コーティング、最終工程の組み立てまで、カーミラー製造の全体計画を提供します。工場全体の設計と計画。
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。