高度な製造業と材料科学の進化する状況において、高性能で耐久性があり、多機能な薄膜に対する需要はかつてないほど高まっています。研究者や開発者は、精密さと品質だけでなく、最先端のアプリケーションに比類のない汎用性と信頼性を提供する機器を見つけるという絶え間ない課題に直面しています。そこで登場するのが、優れた膜の密着性、密度、純度を実現するための基幹技術であるコーティング能力の限界を再定義する準備はできていますか？特定のアプリケーションの課題に対応するためにMulti950ハイブリッドシステムをどのように調整できるか（OEM/ODM利用可能）について話し合うために、今すぐROYAL TECHにお問い合わせください。真空蒸着の未来を探るための詳細な相談または技術文書をリクエストしてください。です。このイノベーションの最前線にいるのが、従来のコーティングの限界を超えるように設計されたハイブリッドPVDおよびPECVD真空蒸着システムであるROYAL Multi950です。このマシンは単なるツールではなく、学術的なコラボレーションから生まれ、表面工学の未来のために設計された包括的なR&Dプラットフォームです。
標準的なPVD法とは異なり、イオンプレーティングは、イオンが膜形成プロセスに積極的に参加する高エネルギープラズマ環境を利用しています。Multi950は、8セットのアークカソードと専用のリニアイオン源を通じてこれを強力に統合しています。この組み合わせにより、強烈なプラズマイオン化が保証され、次のような優れた特性を持つ膜が得られます。
イオン源は、蒸着前および蒸着中に強力なプラズマエッチングとイオン衝撃を提供します。これにより、原子レベルで基板が洗浄され、勾配界面が作成され、極度の機械的ストレスや熱サイクルに耐える膜の密着性が実現します。
基板表面に到達する高エネルギーイオンは、高密度でボイドのない膜成長を促進します。これにより、保護硬質膜から精密光学フィルターまで、幅広い用途に不可欠な、優れた硬度、耐食性、および光学特性を備えたコーティングが得られます。
イオンアシスト蒸着は、スローイングパワーを向上させ、鋭いエッジや凹んだ特徴を持つツールなど、複雑な形状でのより均一なコーティングカバレッジを可能にします。
その天才は標準化されたモジュール性にあります。アークおよびスパッタリングカソードは、イオン源フランジとともに、柔軟な交換のために設計されています。つまり、同じコアシステムを、次の間で簡単に適応させることができます。
TiN、CrN、DLCなどの超硬質で耐摩耗性のコーティング用。
低ストレスで高品質の金属および誘電体光学コーティング用。
透明DLCなどの高度な炭素系膜を、デリケートな基板に最適な低温で堆積させるため。
このハイブリッドPVD/PECVD機能により、異なる技術の最高の特性を組み合わせた、新しい多層およびナノ複合膜を1回のポンプダウンサイクルで作成できます。
金属または非金属基板上のさまざまな金属層（Al、Cr、Cu、Au、Ag、Ni）および化合物を必要とするプロセスを満たします。その実績のある設計は、最先端のアプリケーション向けの専門システムを生み出し、その基本的な汎用性を示しています。
耐摩耗性と反射防止目的の透明DLC膜
コンパクトな設置面積（
）に収容されており、パワーを損なうことはありません。
総電力150KWで、大型のφ650 x H750 mmプラズマ均一性ゾーンと、精密な熱管理のためのPID制御を備えた500℃加熱システムを備えています。1年間の限定保証と生涯にわたる機械サポートに支えられ、ROYAL TECHの世界的なサービスネットワークは、ヨーロッパ（ポーランド）からアジア（インド、イラン、トルコ）、アメリカ大陸（メキシコ）まで広がり、専門家によるオンサイトサポート、機械の操作、メンテナンス、コーティングプロセスレシピに関するトレーニングを保証します。ROYAL Multi950ハイブリッド真空蒸着機は、単なるPVDイオンプレーティングマシン
ではありません。それはイノベーションへの戦略的投資です。R&D部門とパイロット生産ラインが、新しい材料の組み合わせを探索し、プロセスを最適化し、独自のコーティングを迅速かつ柔軟に開発できるようにします。PVDイオンプレーティング、DC/MFスパッタリング、PECVDを1つの信頼性の高いモジュール式プラットフォームに統合することにより、複数の専用システムの必要性をなくし、コストを削減し、市場投入までの時間を短縮します。コーティング能力の限界を再定義する準備はできていますか？特定のアプリケーションの課題に対応するためにMulti950ハイブリッドシステムをどのように調整できるか（OEM/ODM利用可能）について話し合うために、今すぐROYAL TECHにお問い合わせください。真空蒸着の未来を探るための詳細な相談または技術文書をリクエストしてください。
