October 11, 2022
研究開発用多機能コーティング装置
機械モデル:Multi950-R&D
テクノロジー：PVD+PECVD
構築時間:2015年
位置：中国、上海
インストール & テスト:5日間
コミッショニングとトレーニング:3日
設計上の特徴
1. 柔軟性: アークおよびスパッタリング陰極、イオン源取り付けフランジは、柔軟な交換のために標準化されています。
2. 汎用性: さまざまな卑金属および合金を堆積できます。光学コーティング、ハードコーティング、ソフトコーティング、化合物フィルム、および金属および非金属材料基板上の固体潤滑フィルム。
3. シンプルなデザイン: 2 ドア構造、メンテナンスが容易な前後の開口部。
Multi950 マシンは、研究開発用にカスタマイズされた多機能真空蒸着システムです。Chen教授が率いる上海大学のチームとの半年間の議論により、最終的に彼らの研究開発アプリケーションを満たすための設計と構成を確認しました。PECVDプロセスによる透明DLC膜、ツールへのハードコーティング、スパッタリングカソードによる光学膜の成膜が可能です。このパイロット マシンの設計コンセプトに基づいて、その後 3 つのコーティング システムを開発しました。
1. 燃料電池車用バイポーラプレートコーティング-RT1200-FCEV
2. セラミック直接メッキ銅 - RT1200-DPC
3. フレキシブルスパッタリング装置-RTSP1200-PCB
これらの 4 つのモデルのマシンはすべて Octal チャンバーを備えており、柔軟で信頼性の高いパフォーマンスがさまざまなアプリケーションで広く使用されています。複数の異なる金属層を必要とするコーティングプロセスを満たします。Al、Cr、Cu、Au、Ag、Ni、Sn、SS、および他の多くの非強磁性金属。さらに、イオン源ユニットは、そのプラズマ エッチング性能と、一部の炭素ベースの層を堆積する PECVD プロセスにより、さまざまな基板材料への膜の接着を効率的に強化します。
RT1200-PCB
RT1200-DPC ( セラミック/ Al2O3、AlN に銅を直接メッキ)
RT1200-FCEV
Multi950 は、Royal Tech の高度なデザイン コーティング システムのマイルストーンです。ここで、上海大学の学生、特に Process Yigang Chen に感謝します。
2018 年には、Pressor Chen と別のプロジェクト協力を行いました。これは、誘導加熱蒸着法による C-60 材料の堆積です。あらゆる革新的なプロジェクトにおける Yimou Yang 氏と Chen 教授の指導と指導に感謝します。
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