陽極層プラズマ源
ハイライト | アプリケーション: |
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R2Rウェブコーター、 インライン成膜装置、 バッチコーター 光学フィルム、ハードコーティング、機能性および装飾性薄膜、テキスタイルのプラズマ処理用。 |
製品 | ActiveGas-ALS (長方形) | ActiveGas-ALS (円形) |
最大。放電電圧 | 1500V | 1500V |
最大。放電電流 | >15mA/cm | >15mA/cm |
イオンエネルギー | 50~800eV | 50~800eV |
使用圧力 | 5×10-2~1 Pa | 5×10-2~1 Pa |
冷却水 | 5L/分 | 2L/分 |
寸法 (mm) | 145W@L<390 / 160W@L>400 | φ114×130(H) |
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。