マグネトロンの放出させる源の指定
主要特点
1. 有限な要素の磁界の設計
2. 冷水から隔離される磁石
3. DC/MFおよびRF力と互換性がある
4. 高いターゲット利用
5. 調節可能な出る方向
6. 高い発電密度および優秀な均等性
7. 釣り合った、不均衡なモード選択
| 最高放出させる力 | |
| 間接冷却されたターゲット | > 20のワット/cm2 （DC） |
| > 7つのワット/cm2 （RF） | |
| 排出の電圧 | 100から1500ボルト |
| 放出流 | > 0.05 amps/cm2 |
| 操作圧力 | 0.05から5 Pa |
| ターゲット利用 | > 35% |
| ターゲット | |
| 形態 | 長方形の平面 |
| 厚さ | 6mm~16mm |
| 幅 | 125mm |
| 取付け | 内部/外部 |
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