マグネトロン スパッタリング コーティング技術は、成膜速度が速いため、ミラーの高スループット要求を可能にします。
インラインスパッタリング装置とは異なり、生産コストが低いため、起業家は低投資でビジネスを開始できます。
特徴
グリーンテクノロジー、環境に優しいプロセス。
PVD クローム ホイールは、クローム メッキ ホイールよりも 80% 軽量です。
PVD Black Chrome / PVD Bright Chrome / PVD Neo-Chrome 仕上げが生成可能
Royal Technology は、さまざまな生産性の要求を満たすために、3 つの標準マシンを提供しています。
RTSP 900、容量 1 個;小型、主に修理サービス用
RTSP1400、容量 4 個;中型、小規模製造用
RTSP1800、容量 8 個;大型、車両ホイール用大量生産
技術仕様
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説明 |
カーミラー用 | 車のホイール用 | ||
| RTSP1400-PLUS | RTSP900 | RTSP1400 | RTSP1800 | |
| 利用可能なターゲット | クロム、アルミニウム、ステンレス、銅、真鍮、チタン、銀など | |||
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容量
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最大。4.86平方メートル |
最大。サイズ：27インチ×1ユニット
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最大。サイズ 25インチ×4台 最大。サイズ：27インチ×2台 |
最大。サイズ 22インチ×8ユニット
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| 堆積チャンバー |
φ1400×H1600mm
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φ900×H900mm
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φ1400×H1600mm
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φ1800×H1800mm
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負荷直径 (最大) |
6×φ360mm | 1軸 | 1軸 |
4軸 ※φ560mm
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| 積載高さ （ 効果的） |
1200mm | 700mm | 1100mm | 1400mm |
| 堆積源 |
シリンダースパッター4セット 1セット平面スパッタ |
平面スパッタ2台 W125×L850mm | 平面スパッタ2台 W125×L1350mm | 平面スパッタ 2台 W125×L1650mm |
| スパッタリング力 | 最大。40KW | 最大。30KW | 最大。40KW | 最大。60KW |
| オペレーション＆コントロールシステム |
CE規格 三菱PLC+タッチスクリーン バックアップ付き運用プログラム
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マグネトロンスパッタリング技術とは？
マグネトロン スパッタリングは、PVD コーティング技術の別の形式です。
プラズマコーティング
マグネトロン スパッタリングは、ターゲット表面へのイオンの衝撃によってスパッタリング材料が放出されるプラズマ コーティング プロセスです。PVD コーティング機の真空チャンバーには、アルゴンなどの不活性ガスが充填されています。高電圧を印加することでグロー放電が発生し、イオンが加速されてターゲット表面に到達し、プラズマ コーティングが形成されます。アルゴン イオンはターゲット表面からスパッタリング材料を放出し (スパッタリング)、ターゲットの前の製品にスパッタリングされたコーティング層が形成されます。
反応性スパッタリング
多くの場合、放出された材料と反応する窒素やアセチレンなどの追加のガスが使用されます (反応性スパッタリング)。この PVD コーティング技術を使用すると、さまざまなスパッタ コーティングを実現できます。マグネトロン スパッタリング技術は、その滑らかな性質により、デクリティブ コーティング (Ti、Cr、Zr、およびカーボン ナイトライドなど) に非常に有利です。同じ利点により、マグネトロン スパッタリングは、自動車市場のトライボロジー コーティング (CrN、Cr など) に広く使用されています。2N および DLC コーティングとのさまざまな組み合わせ (Diamond Like Carbon コーティング)。
磁場
マグネトロンスパッタリングは、一般的なスパッタリング技術とは少し異なります。違いは、マグネトロン スパッタリング技術では、磁場を使用してプラズマをターゲットの前に維持し、イオンの衝突を強化することです。高密度プラズマは、この PVD コーティング技術の結果です。
マグネトロン スパッタリング技術の特徴は次のとおりです。
