タンタルPVDの放出させるコータ、放出させるDCのマグネトロンPVDのタンタルのめっきによって沈殿するタンタルのフィルム
タンタルは腐食へのよい抵抗のためにエレクトロニクス産業でそして多くの企業の保護層として最も広く利用されている。
放出させたタンタルのフィルムはで広く利用されている
1.フィルムが敏感に放出させることができるおよびこうして抵抗の抵抗および温度係数は制御することができると同時にマイクロエレクトロニクスの企業;
2. 非常にbiocompatabilityの特性のためのボディ インプラントのような医療機器;
3. thermowells、バルブ本体および締める物のような防蝕部分のコーティング、;
放出させたタンタルは保護するようにコーティングが連続的ならdefectected有効な耐食性の障壁として使用されるまたべきである場合もあり、基質に付着性意図されているである。
RTAS1000技術的な利点
1. 速い取付けのための差込式の統合された設計システム
2. Siemens PLC、CPU;産業PC操作及び制御ハードウェアを使って
3. リモート・モニタリングおよび診断のために利用できる。
4.適用範囲が広い、改善の用意しなさい
5. 速い沈殿速度のための多数の陰極
機械からのより多くの利点:
強い設計、安定した質、速い周期、速いサイクル時間、高い沈殿速度
主要な構成 | |
モデル | RTAS1000 |
技術 | 放出させるDCのマグネトロン+陰極アークのめっき |
部屋材料 | ステンレス鋼(S304) |
部屋のサイズ | Φ1000*1000mm (h) |
部屋のタイプ | Dの形、円柱部屋 |
回転棚及びジグ システム | 衛星運転するか、または中央ドライブ |
電源 | DCの放出させる電源:2~4セットは電源に偏る:1つのセット アークの電源:11セット |
沈殿材料 | Ti/Cr/TiAl、Ta、Au、Ag、CU等。 |
沈殿源 |
平面の放出させる陰極+円アークの陰極 注目:cylinderial DCは利用できる放出させる |
制御 | PLC (プログラム可能な論理のコントローラー) +タッチ画面(manual+ auto+の半自動オペレーション・モデル) |
ポンプ施設管理 | 回転式ベーン・ポンプ:SV300B - 1セット(Leybold) |
根はポンプでくむ:WAU1001 - 1セット(Leybold) | |
ポンプの把握:D60C - 1セット(Leybold) | |
磁気懸濁液の分子ポンプ:MAG2200 - sest 2 (Leybold) | |
マス フローのコントローラーにガスを供給しなさい | 4つのチャネル、中国製、7つの星(CSシリーズ、)のデジタル モデル(ArのN2、O2、C2H2) |
真空ゲージ | モデル:ZDF-X-LE、中国製 |
安全システム | オペレータおよびequipmenを保護する多数の安全保護インターロック |
暖房 | ヒーター:20KW.最高。臨時雇用者。:450℃ |
冷却 | 産業スリラー(冷水) |
力MAX。 | 100KW (およそ) |
平均出力の消費 | 45のKW (およそ) |
総重量 | T (およそ) |
フィートの印刷物 | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
電気力 | AC 380V/3 phases/50HZ/5ライン |
円柱放出させる陰極 平面の放出させる陰極
より多くの指定のための私達に、高貴な技術総コーティングの解決を提供するために名誉を与えられる連絡しなさい。
パンフレットをダウンロードしなさい、ここにかちりと鳴らしなさい: マグネトロンの放出させる沈殿System.pdf
マグネトロンの放出させる沈殿システムapplicatio…