RT-CsI950 は、CsI950 および CsI950A+ モデルに基づく 3 番目のアップグレード世代です。
この装置は、超高真空環境でのシンチレーション スクリーンでの CsI メタライゼーション専用に設計されています。厚み200~600μmのCsIシンチレータは厚み均一性と輝度性能に優れています。
応用:セキュリティチェックと検査、高エネルギー物理学教育、核放射線検出、医用画像検査:胸部検査、マンモグラフィー、歯科口腔内およびパノラマ。
適用される基板:TFTガラス、光ファイバープレート、アモルファスカーボンプレート、アルミプレート
利点:
-- 移転のためのより便利な密集した設計;
-- より低い生産コストのためのより多くの省エネ;
-- 20 年以上の真空分野での技術的経験を持つ資格のあるエンジニアが、システムを設計および構築します。
技術的利点
1. 高効率
-最大のダブル容量。サイズ基板:500×400mm。
2.再現性と再現性
-高精度なパラメータ制御システムにより、
-自動化されたプロセス制御ソフトウェアとプログラム、
-ユーザーフレンドリーな操作。
3. 信頼性
- 24 時間 365 日ノンストップで稼働。
- Inficon Film Thickness Controller は、膜厚をインラインで監視します。
・温度制御精度:±1℃、多段設定、温度データ自動記録・制御
- 高精度と安定性を実現するサーボモーターを搭載したロータリーラック。
4. 安全性
-高真空ポンプ: 危険物質が空気中に露出するのを避けるための窒素ガス吹き込み装置を備えた磁気サスペンション分子ポンプ;
-すべての電極には安全保護スリーブが装備されています。
技術仕様
説明 | RT-CsI950 |
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堆積室 (mm)
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φ950×H1350 | φ800×H800 |
容量 | 2 | 1 |
蒸発源 | 2 | 4 |
乾燥と除湿 |
ヨウ素タングステンランプ 最大。300℃ |
ヨウ素タングステンランプ 最大。200℃ |
到達真空圧(Pa) | 8.0×10-5Pa | 5.0×10-4Pa |
蒸着膜厚コントローラー | クォーツコントロール×1 |
なし
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消費電力 (KW) |
最大。約。50 平均約。20 |
最大。約。20 平均約。10 |
フットプリント (L*W*H) | 3000×2150×2100mm | 1800×2300×2100mm |
オペレーション&コントロールシステム
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CE規格 三菱PLC+タッチスクリーン バックアップ付き運用プログラム |
RT-CsI950 装置に加えて、CsI フィルムの上部に保護層を生成するための後処理装置も提供しています。
-- 熱蒸着コーティング技術を採用したRTEP800。
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。