DLC フィルム (ダイヤモンド - ライク - カーボン) は、機械部品、自動車ベアリング、医療機器、軍事、航空宇宙、工業用シーリング部品、時計など、高い耐久性と分。摩擦係数。
PECVD + PVD プロセスの DLC コーティング技術は、最高水準の用途を満たすために長年にわたって開発されてきました。このプロセスは、驚異的な美しさを除いて、製品の表面にユニークで完璧な仕上げを提供します。
時計 DLC薄膜コーティング機の仕様
モデル | RTSP1010 | |||||||
テクノロジー | PECVD プロセス - マグネトロン スパッタリング + イオン源 | |||||||
チャンバー素材 | ステンレス鋼 (S304) | |||||||
チャンバーサイズ | Φ1000×1000mm(高さ) | |||||||
チャンバータイプ | 正八面体チャンバー、2ドア | |||||||
ローテーションラック&ジグシステム | 6 (8) サテライト、最大。重量: 400kg | |||||||
電源装置 | 数量スパッタリングの: 2*24 KW 電源のバイアス: 1*24W オプションの AE 電源 イオン ソース電源 2 セット、オプションの AE 電源 | |||||||
堆積材料 | クロム/C | |||||||
堆積源 |
2 ペア (4 個) のスパッタリング陰極 + 2 つのイオン源コーティング領域: Dia800mm*H550mm; 均一領域: ±10~15% |
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コントロール | PLC(Programmable Logic Controller) + タッチスクリーン (手動+自動+半自動操作モデル) | |||||||
ポンプシステム | ロータリーベーンポンプ: SV300B - 1 セット (ライボルト) | |||||||
ルーツポンプ: WAU1001 - 1 セット (ライボルト) | ||||||||
ホールディングポンプ:D60C-1set-(ライボルト) | ||||||||
マグネトリックローターサスペンション分子ポンプ: MAG2200 - 2 セット (Leybold) | ||||||||
ガスマスフローコントローラー | 3 チャンネル、Made in America (MKS ブランド) | |||||||
真空計 | モデル: ZDF-X-LE、中国製 | |||||||
線形イオン源 | 2枚 前処理、プラズマ洗浄+アシスト蒸着 | |||||||
安全システム | オペレータと機器を保護する多数の安全インターロック | |||||||
暖房 | ヒーター: 20KW.最大。温度:400℃ | |||||||
冷却 | 工業用チラー(冷水) | |||||||
パワーマックス。 | 100KW(約) | |||||||
平均消費電力 | 45KW(約) | |||||||
総重量 | T (約) | |||||||
フットプリント | (長さ×幅×高さ) 4000×4000×4000ミリ。 | |||||||
パワーエレクトリック | AC380V/3相/50HZ |
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。