マグネトロンの放出させる源、平面の放出させる陰極、高い利用ターゲット。

マグネトロンの放出させる技術は何ですか。
放出させるマグネトロンはPVDのコーティングの技術のもう一つの形態です。

血しょうコーティング
放出させるマグネトロンは放出させる材料がターゲット表面へイオンの衝突が出された原因であるという血しょうコーティング プロセスです。PVDのコータの真空槽はアルゴンのような不活性ガスで、満ちています。高圧の適用によって、グロー放電はターゲット表面および血しょうコーティングへのイオンの加速に終って、作成されます。アルゴン イオンはターゲット表面（放出させること）からターゲットの前のプロダクトの放出させたコーティングの層に終って放出させる材料を、出します。

反応に放出させること
多くの場合出された材料（反応に放出させること）と反応するアセチレン使用されます、または窒素のような付加的なガスは。放出させたコーティングの広い範囲はこのPVDのコーティングの技術と達成可能です。マグネトロンの放出させる技術は滑らかな性質のためにdecretiveコーティング（例えばチタニウム、Cr、Zrおよびカーボン窒化物）のために非常に有利、です。同じ利点はマグネトロンの放出を自動車市場（例えばDLCのコーティング-カーボン コーティングのようなダイヤモンドとのCrN、Cr 2Nのandvarious組合せ）のtribologicalコーティングのために広く利用されたようにします。

磁場
放出させるマグネトロンは一般的な放出させる技術と幾分異なっています。相違はイオンの衝突を激化させるターゲットの前の血しょうを保つのにマグネトロンの放出させる技術が磁場を使用することです。非常に密な血しょうはこのPVDのコーティングの技術の結果です。

マグネトロンの放出させる技術は下記によって特徴付けられます:

• 水冷却されたターゲットは、そう少し放射熱発生します
• ほとんどどの金属目標資料でも分解なしで放出させることができます
• 非導電材料は無線周波数(RF)の使用によって放出させることができます
  または(MF)中間周波数の力
• 酸化物のコーティングは放出させることができます（反応に放出させること）
• 優秀な層の均等性
• 非常に滑らかな放出させたコーティング（しぶき無し）
• 従って2メートルまでの陰極は（長さ）あらゆる位置置くで、高くことができます
  放出させる装置の設計の柔軟性
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• いかに金属で処理する真空されますか。
  主にプロセスは含んでいます
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