マグネトロン スパッタリング ソースの仕様
主な機能
1. 有限要素磁場設計
2.冷却水から隔離された磁石
3. DC/MF、RF電源に対応
4. 高いターゲット使用率
5. 排出方向の調整が可能
6. 高出力密度と優れた均一性
7.バランスとアンバランスモードの選択
8. 目標使用率: > 80%
アプリケーション:
ローズゴールド、漆黒、ブルーの色蒸着、導電膜コーティングに。垂直および水平の PVD マグネトロン スパッタリング コーティング システムに取り付けることができます。
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。