セラミック PVD コーティング装置の特徴:
1.真空チャンバーは、垂直の1つの開いたドア、304ステンレス鋼の製造、真空チャンバーの内径がφ1400mm-Φ2000mmです。
2. ロータリー ベーン ポンプ、ルーツ ポンプおよび油拡散ポンプまたは分子ポンプ構成による真空システム。
3. コーティング システムは、1 ～ 2 個の中間周波数磁気を使用してスパッタリング電源を制御し、1 ～ 2 組の不平衡磁気を使用してターゲットを制御し、14 ～ 40 個のアーク ソースを備えています。
4.高効率パルスバイアス電源;
5.ガス化システムは、国産または輸入ガス質量流量計、ガス流量制御（デモ）メーターを使用します。
6. 電気制御システム確立の電気回路が過負荷になり、給水が遮断され、音響光学警報装置が停止します。
7.制御システム（タッチスクリーン+ PLC）、リアルタイム表示の詳細なパラメーター、完全に自動化された全生産プロセスの制御、および自動メモリ技術パラメーター。
PVDコーティング装置 - RTAC1618の仕様
| モデル | RTAC1618 | ||
| 素材 | ステンレス鋼 (S304) | ||
| チャンバーサイズ | Φ1600×1800mm（高さ） | ||
| ポンプシステム | ロータリーピストン真空ポンプ（機械式） | ||
| ロータリーベーン真空ポンプ（保持） | |||
| ルーツ真空ポンプ | |||
| 拡散ポンプ | |||
| テクノロジー | イオンプレーティング（マルチアークソース） | ||
| 典型的なターゲット | クロム、チタン、ジルコニウム、TiAl | ||
| ガス | ガス質量流量計 (Ar、N2、) アルゴン、窒素 | ||
| コントロール | PLC（プログラマブルロジックコントローラ） | ||
| 安全システム | オペレータと機器を保護する多数の安全インターロック | ||
| 冷却 | 冷却水のリサイクル | ||
| 暖房 | ヒーター、300℃まで | ||
| パワーマックス。 | 150KW（約） | ||
| 平均消費電力 | 70KW（約） | ||
セラミックPVDコーティング装置イオンプレーティング技術を採用し、陰極アーク源によってチタン、クロムなどの固体金属を蒸発させ、イオン化された金属を製品表面に凝縮させて、高真空環境でナノ薄膜を生成します。次のような反応性ガスを使用すると、さまざまな色を生成する窒素。
その他のカスタマイズされたマシン サイズは、指定された製品の寸法と容量の需要に基づいて利用できます。
モデル | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| チャンバー内寸 | 1000×800mm | 1000×1200mm | 1200×1500mm | 1400×1600mm | 1600×1600mm | ||||||
| 電源タイプ | アーク電源、フィラメント電源、パルスバイアス電源 | ||||||||||
| 真空チャンバーの構造 | 縦型フロントドア構造、リア排気システム、二重水冷チャンバー | ||||||||||
| 真空チャンバーの材質 | ステンレス鋼 304/316L | ||||||||||
| 極限真空 | 6.0×10-4Pa（搬出、洗浄、乾燥室） | ||||||||||
| 真空排気速度 | 大気から 8.0*10-3Pa まで ≤15 分 | ||||||||||
| 真空排気システム | 拡散ポンプまたは分子ポンプ + ルーツポンプ + メカニカルポンプ + ホールディングポンプ (特定のモデルは、顧客の要件に応じて選択できます) | ||||||||||
| アーク源 | 6台以上 8台 | 8台以上 10台 | 10単位または 12台 | 14台または 16台 | 16台以上 18台 | ||||||
| バイアス電源 | 20KW/セット | 20KW/セット | 30KW/セット | 40KW/セット | 50KW/セット | ||||||
| ドライビングモデル | 惑星の公転と自転、可変周波数速度調整 (制御および調整可能) | ||||||||||
| 暖房システム | 室温から 450°C まで制御および調整可能 (PID温度制御) | ||||||||||
| MFC | 3 パスまたは 4 パスのプロセス ガス フロー制御および表示システム、選択的自動ガス処理システム | ||||||||||
| 冷却システム | 水循環冷却モード、冷却水塔または工業用水冷器または深冷システム。（お客様ご用意） | ||||||||||
| 制御モード | 手動/自動統合モード、タッチスクリーン操作、PLCまたはコンピュータ制御 | ||||||||||
| 総電力 | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| アラームと保護 | 水不足、過電流、過電圧、開回路などのポンプやターゲットなどの異常を警報し、関連する保護措置と電気的インターロック機能を実行します。 | ||||||||||
| 設備エリア | 幅2.5m×長さ3.5m | 幅3m×長さ4m | 幅4m×長さ5m | 幅4.5m×奥行6m | 幅5m×長さ7m | ||||||
| その他の技術的パラメータ | 水圧≧0.2MPa、水温≦25℃、空気圧0.5～0.8MPa | ||||||||||
| 備考 | コーティング装置の特定の構成は、コーティング製品のプロセス要件に従って設計できます | ||||||||||
セラミックファイル PVDコーティングサンプル
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。
