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薄膜のコータ、Auの金の伝導性のフィルムの沈殿を放出させるPVDのニッケルおよび銅

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薄膜のコータ、Auの金の伝導性のフィルムの沈殿を放出させるPVDのニッケルおよび銅
特徴 ギャラリー 製品の説明 見積依頼
特徴
仕様
テクノロジー: 、PVDの放出させる沈殿放出させる、DCのマグネトロンPVDの真空メッキ
アプリケーション: 伝導性のフィルムの沈殿、耐食性のフィルムのコーティング
プロパティ: 強く、大量の設計機械
放出させるターゲット: NI、Cr、CU、Au、Ag、Ta、チタニウム、SS、Al等の純粋な金属
工場位置: 上海都市、中国
世界的なサービス: ポーランド-ヨーロッパ;イラン西のアジア及び中東、トルコ、インド、メキシコ南アメリカ
訓練サービス: 機械動作、維持、コーティング プロセス調理法、プログラム
保証: 限定保証機械の自由な、一生の1年
OEM & ODM: 利用できる、私達は注文仕立ての設計および製作を支える
ハイライト:

thin film coating equipment

,

dlc coating equipment

基本情報
起源の場所: 中国
ブランド名: ROYAL
証明: CE
モデル番号: RTAS
お支払配送条件
パッケージの詳細: 標準を、長距離の海洋/空気および内陸の交通機関のための新たな問題/カートン、適したで詰められるために輸出して下さい。
受渡し時間: 10から12週
支払条件: L / C、T / T
供給の能力: 毎月10セット
製品の説明

       PVD DCスパッタ法による回路基板導電性薄膜成膜、銅めっき、Auスパッタ成膜

 

 

------大容量、柔軟なモジュール設計、精密な製造。


 

技術的な利点:


DPC-RTAS1215+ スパッタリング システムは、元の ASC1215 モデルのアップグレード バージョンであり、最新のシステムにはいくつかの利点があります。

 

より効率的なプロセス:
1.反転治具設計により両面塗装が可能
2. 複数のソース用に最大 8 つの標準平面カソード フランジ
3. 1 サイクルあたり最大 2.2 ㎡のセラミックチップを処理できる大容量
4.完全自動化、PLC +タッチスクリーン、ワンタッチ制御システム

 

より低い生産コスト:
1. 2つの磁気懸濁液分子ポンプを装備し、起動時間が速く、メンテナンスが無料です。
2.最大暖房能力;
3. 最大 8 つのアーク ソースと 4 つのスパッタリング カソードを使用して最適なスペースを確保するためのチャンバーの八角形形状により、コーティングの高速堆積が可能

 

 

 

DPC プロセス - Direct Plating Copper は、電子産業で LED や半導体に適用される高度なコーティング技術です。典型的なアプリケーションの 1 つは、セラミック放射基板です。PVD 真空スパッタリング技術による AlN 基板である酸化アルミニウム (Al2O3) への銅導電膜の堆積には、従来の製造方法と比較して、DBC LTCC HTCC の製造コストがはるかに低いという大きな利点があります。


Royal Technology のチームはお客様と協力して、PVD スパッタリング技術をうまく適用した DPC プロセスを開発しました。

 

DPC のアプリケーション:
HBLED
太陽光集光セル用基板
車載モーター制御を含むパワー半導体パッケージング
ハイブリッドおよび電気自動車の電源管理エレクトロニクス
RF用パッケージ
電子レンジ機器

 

技術仕様

 

説明 DPC-RTAS1215+
チャンバー高さ (mm) 1500
チャンバー径 (mm) φ1200
スパッタリング陰極取付フランジ 4
イオン源取り付けフランジ 1
アーク陰極取付フランジ 8
サテライト (mm) 16×Φ150
パルスバイアス電力 (KW) 36
スパッタリング電力 (KW) DC36+MF36
アーク力(KW) 8×5
イオン源電力 (KW) 5
加熱力 (KW) 36
有効塗工高さ(mm) 1020
磁気浮遊分子ポンプ 2×3300L/S
ルーツポンプ 1×1000m³/時
ロータリーベーンポンプ 1×300m³/時
保持ポンプ 60m³/時
容量 2.2
設置面積 ( L x W x H) mm 4200*6000*3500

 

 

 

HMI + タッチスクリーン操作システム

 

薄膜のコータ、Auの金の伝導性のフィルムの沈殿を放出させるPVDのニッケルおよび銅 0

 

 

詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。

 

 

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