PVD は物理蒸着の略称であり、ワークピースの美的価値を高め、機械的および化学的特性 (硬度、電子機能、耐食性、耐スクラッチ性など) を向上させるために頻繁に使用されるコーティング技術です。さびや汗、気候によるダメージなどによる製品。
4. 色、厚さおよび均一性の変化は制御することができます。
機械の技術的パラメータ
テクノロジー | アーク蒸着+DCマグネトロン スパッタリング+プラズマ洗浄 |
素材 | ステンレス鋼 (S304) |
チャンバーサイズ | φ1600×1600mm(高さ) |
ポンプシステム | ロータリーベーン真空ポンプ(機械式) |
ロータリーベーン真空ポンプ(保持) | |
ルーツ真空ポンプ | |
高真空油拡散ポンプ | |
テクノロジー | イオンプレーティング(マルチアークソース)+DCスパッタリング+イオンソース(オプション) |
電源 | アーク 9*5KW + DC スパッタリング 2*48KW |
典型的なターゲット | チタン、ジルコニウム、クロム、銀、Au金、アルミニウム、銅など |
ガス | ガス質量流量計 (Ar、N2、C2H2、O2) アルゴン、窒素、エチン、酸素 |
コントロール | PLC(プログラマブルロジックコントローラ) |
安全システム | オペレータと機器を保護する多数の安全インターロック |
冷却 | 水 |
暖房 | ヒータ |
パワーマックス。 | 120KW(約) |
平均消費電力 | 55KW(約) |
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