PVD MFのマグネトロンの放出させるコータ、MFの放出させるシステム、錫MFの放出させる沈殿単位
MF Mangetronの放出させるコーターRT1215-SPMFは銅、alumunium、プラスチック、金属のサーキット ボードの伝導性のフィルムの層のめっきのためにesigned dです。それは基質のナノの薄膜を凝縮できます。放出させるAgを除いてそれはまたNIのAu、AgのAl、Cr、SS316Lを沈殿できます。
RTSP1215-MF機械は2組のMFの放出させる陰極で部屋、および1組のPVDのフィルムの沈殿の前の血しょう衝突のクリーニングのための陽極層イオン源と取付けられています。
イオン源はGencoaの会社、特性から元です:
1. 標準的な放出させる圧力で視準を正された血しょうビームを作り出す最大限に活用された磁場
2. 一定した流れ及び電圧–複数のガスの自動車制御--を維持するガスのための自動化された規則
3. 基質を汚染から保護し、長命の部品を提供するグラファイトの陽極および陰極
4. すべてのイオン源のRFの標準的な電気絶縁材
5. 陽極および陰極–部品の速い切換えの間接冷却
6. 低電圧操作に多数磁気トラップを提供する陰極の部品の容易な切換えか集中されたビーム
7. 電圧は同じ流れをいつも維持するためにガスの調節のフィードバックを用いる電源を調整しました
RTSP1215-MF MFの放出させるコーティング装置のレイアウト
RTSP1215-MF MFの放出させるコーティング装置の塗布:
1. の基質で利用できる:プラスチック、ポリマーの、ガラスおよび陶磁器シート、ステンレス鋼、銅シート、アルミニウム板等。
2. ナノのフィルムを発生させるためには好んで下さい:錫、TiC、TiCN、Cr、CrC、CrN、CU、Ag、Au、NI、Al等。
RT1215-SPMF MFの放出させるコーティング装置の設計特微:
1. 限られた部屋スペースのためによい強い設計
2. 維持および修理のための容易なアクセス
3. 高い収穫のための速いポンプ施設管理
4. セリウムの標準的な電気エンクロージャ、ULの標準はまた利用できます。
5. 正確な製作の技量
6. 良質のフィルムの生産を保証する安定したランニング。
シリンダーまたは平面MFの放出させる機械働く状態
RT1215-SPMF MFの放出させるコーティング装置の指定:
| モデル | RT1215-SPMF |
| 材料 | ステンレス鋼（S304） |
| 部屋のサイズ | Φ1200*1500mm （h） |
| 部屋のタイプ | 縦1ドアの構造 |
| 単一ポンプ パッケージ | VaneVacuum回転式ポンプ |
| ルーツ真空ポンプ | |
| 磁気懸濁液の分子ポンプ | |
| 二段式回転式ベーンの真空ポンプ | |
| 技術 | 放出させるMFのマグネトロン線形イオン源 |
| 電源 | 放出させる電源+バイアス電源+イオン源 |
| 沈殿源 | 2組MFの放出させる陰極+イオン源 |
| 制御 | PLC+Touchスクリーン |
| ガス | ガスのマス フローは（ArのN2、C2H2、O2）アルゴン、窒素およびEthyneの酸素をメーターで計ります |
| 安全システム | オペレータおよび装置を保護する多数の安全保護インターロック |
| 冷却 | 冷水 |
| クリーニング | グロー放電/イオン源 |
| 力MAX。 | 120KW |
| 平均出力の消費 | 70KW |
より多くの指定のための私達に、高貴な技術総コーティングの解決を提供するために名誉を与えられます連絡して下さい。
