インディアムチンの酸化物コーティング高品質のPET基板のITOコーティング,ITO Thinkフィルム真空コーティング機器
PET ITO Thin Film Vacuum Coating Equipmentは,ガラスとPET材料に透明性の高いITOフィルムを生成するためにマジェントロンスプッター技術を使用しています.
PET ITO 薄膜真空塗装装置 標準的な用途: 電子ディスプレイ,ITOコーティングの顕微鏡スライド 透明性ガラス,導電ガラス,解凍フィルム,脱氷フィルム
PET ITO 薄膜真空コーティング装置の構成:
1) DCスプッター源:Cu,Al,ITO
2) MFスプッター源
3) ターボ分子ポンプ + バックポンプグループ
4) ITOフィルムの質を向上させる高強度磁場,目標利用率>30%
5) Cu,Al,Si の利用率 > 35% を目標とする
6) 堆積速度: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) スプッタリングの均一性領域: 350mm
PET ITO 薄膜真空コーティング設備標準仕様
| モデル | サイズ (mm) | サブストラット・ジグ (Qty) |
スプートリング パワー (kVA) |
スプートリング 目標 (Qty) |
スプートリング カソード |
MFC | コメント |
| MSC800 | Φ800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | シリンダー | 3 | ITOコーティング |
| MSC1616 | Φ1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | 直角形 | 2 | 2ドア |
PET ITO 薄膜真空コーティング設備コーティングサンプル
ロイヤル・テクノロジーは 完全なコーティング・ソリューションを 提供できることを光栄に思います
