ロー・Eフィルム・ウェブ・コーティング/ウェブ・ロール・トゥ・ロール・真空スプッティング・コーティング・マシン
私たちは,あなたの多層堆積要求を満たすために,私たちのマルチWebシリーズロールをロール真空スプッターWebコーティングを提案します.
一般仕様 | |||||||
真空室体:単室多圧ゾーン | |||||||
移動可能な車: Web Carriage | |||||||
放出ゾーン: 2 × 噴射ゾーン (オプション: 3 噴射ゾーン) | |||||||
発射源: 2 x ダブルカソード発射源 (オプション: 3 ダブルカソード発射源) | |||||||
基板前処理:線形イオン源 | |||||||
網の幅: 1300mm | |||||||
巻き込み直径: Φ600mm 最大 | |||||||
巻き込み方向:両方向 | |||||||
基板厚さ: 15~300μm | |||||||
Web ライン 速度:0.5~10M/min | |||||||
網張力:5.0PLI 最大0.5PLI 最短 | |||||||
Web アライナメント: ±3mm (1回通過) | |||||||
ハイ真空ポンプ:ターボポンプ | |||||||
粗末真空ポンプ: 乾燥ポンプと吹風器の組み合わせ | |||||||
湿度ポンプ:ポリコールド・クライオジェニック | |||||||
堆積厚さの制御:モニタリング (オプション) | |||||||
a: 光学送信 b: エディ電流抵抗 | |||||||
システム操作:PLCベースのコンピュータシステム操作 |
ロイヤル・テクノロジーは 完全なコーティング・ソリューションを 提供できることを光栄に思います