ツールの PVD ハード コーティング、ダイヤモンド スチール ファイル ハード コーティング PVD 装置、スチール ファイル TiN ゴールド コーティング マシン
PVD TiN および PVD CrN 機能性コーティング:
1. TiN (窒化チタン) 硬度: 2000~2300 HV、厚さ: 2~6 ミクロン
2. CrN (窒化クロム) 硬度: 1700~2100 HV、厚さ: 2~10 ミクロン
高硬度、低摩擦係数、長時間使用(3~5回以上)
ツールのハードコーティング
プラズマ技術に基づく反応性物理蒸着 (PVD) プロセスによって形成されるハード コーティングは、工具業界で広く使用されるようになっています。
ハード コーティングのイオン プレーティングの最も一般的な蒸発源は、アンバランス マグネトロン スパッタリング源と陰極アーク蒸発源です。堆積中のボンバードメントは、通常、基板に負のバイアス (-200 ~ -300 ボルト) を適用し、プラズマから表面への正イオンを加速することによって達成されます。堆積する原子に対する衝撃イオンの比率が高いことは、堆積する材料を高密度化するために重要です。アンバランス マグネトロン スパッタリング ソースでは、スパッタリングされた原子のほとんどがイオン化されません。しかし、陰極アーク源では、蒸発した原子の高い割合がイオン化されます。これらの「膜イオン」はガスイオンよりも質量が大きいため、「原子ピーニング」によって表面をスパッタリングし、膜を緻密化することができます。
工業用工具のコーティングは、通常、厚さが 1.5 ~ 4 ミクロンです。
RTAC-1214 仕様:
モデル | RTAC-1214 | ||
素材 | ステンレス鋼 (S304) | ||
チャンバーサイズ | Φ1200×1400mm(高さ) | ||
チャンバータイプ | シリンダー、縦型、片扉 | ||
シングルポンプパッケージ | ロータリーピストン真空ポンプ | ||
ルーツ真空ポンプ | |||
ルーツポンプ | |||
テクノロジー | 陰極アーク蒸着、イオンプレーティング | ||
電源 | アークソース電源+バイアス電源 | ||
堆積源 | 14個の陰極アーク源 | ||
コントロール | PLC+タッチスクリーン | ||
ガス | ガスマスフローメーター | ||
安全システム | オペレータと機器を保護する多数の安全インターロック | ||
冷却 | 冷却水 | ||
クリーニング | アーク放電 | ||
パワーマックス。 | 75キロワット | ||
平均電力 消費 |
35キロワット |
4. アーク真空コーターによる製品サンプルのコーティング
ダイヤモンド ファイル TiN および CrN コーティング
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。