陽極層プラズマ源
| ハイライト | アプリケーション: |
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R2Rウェブコーター、 インライン成膜装置、 バッチコーター 光学フィルム、ハードコーティング、機能性および装飾性薄膜、テキスタイルのプラズマ処理用。 |
| 製品 | ActiveGas-ALS (長方形) | ActiveGas-ALS (円形) |
| 最大。放電電圧 | 1500V | 1500V |
| 最大。放電電流 | ＞15mA/cm | ＞15mA/cm |
| イオンエネルギー | 50～800eV | 50～800eV |
| 使用圧力 | 5×10-2~1 Pa | 5×10-2~1 Pa |
| 冷却水 | 5L/分 | 2L/分 |
| 寸法 (mm) | 145W@L<390 / 160W@L>400 | φ114×130(H) |
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。
